1.一键式全自动执行清洗和吹干动作，整个过程无需人工干预。
2.采用彩色触摸屏作为人机操作界面；集成操作和错误、报警显示。
3.出水压力可调。
主电机（清洗、吹干）转速可调。
清洗、吹干时间可调。
4.适用于3” / 4” / 5” / 6” /8”Wafer；
适用于6”和8”的Frame。
